半导体专用真空烘箱
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优势
采用立式腔体设计，上部为工作腔体，腔体内有隔板与冷却管道、后背鼓风电机、下箱柜有真空泵、冷却管路与颗粒物过滤器安装在下部电器柜内，腔体内设有抽气口、放气口、氮气进气口、抽气真空阀安装在箱体底部后背；
箱体外壳：优质A3/厚度1.5mm冷轧钢板加100*100*80mm槽钢焊接而成，表面静电喷塑；
内腔体：进口SUS304/厚度3.0/5.0mm拉丝不锈钢板；
开门机构：槽钢与钢化玻璃连接制成（单开门）；
门封材料：箱门闭合松紧能调节，整体成型日本进口硅橡胶门封圈，确保箱内高真空度；
温度控制：高精度微电脑PLC程序控温仪，采用PID与经验值模糊控制技术，控温精确、工作温度任意设定，数据记录储存，USB数据导出功能，故障报警查询功能；
真空控制：通过PLC继电器来控制自动抽真空，且实现延时抽真空及定时开关机。抽气管路装有电磁阀。可设置定时开启真空泵，自动抽气，定时停机功能，数据记录储；
结构
参数表
服务支持
咨询培训
24小时专业咨询服务
现场安装培训服务
24小时/7天全天候服务
专业工艺培训
技术支持
2个研发中心
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